感应加热技术应用于晶体生长,与电阻丝或石墨体加热法相比,具有一系列的特点和优势:
感应加热用于晶体生长可适用于:碳化硅、蓝宝石、激光晶体等各种晶体。
坩埚类型可以是:石墨坩埚、依金坩埚、钨钼坩埚等、铂金坩埚等等。
晶体生长对温场环境要求十分苛刻:温度稳定,温场均匀,因此对电源的输出功率精度提出很高要求,很多电源不能满足其精度要求,往往借助外部控制器例如欧陆表进行高精度闭环控制,这不仅增加了成本,而且由于电源的精度和稳定性问题,实际效果并不理想。
宏创高频开创了晶体生长感应加热全新的控制法,宏创高频的高精度型感应加热电源是专为晶体生长应用设计开发,经十年的发展和不断改进,尤其是在2013年控制策略升级为“电抗分析法”以后,高精度型电源更有了质的飞跃,成为全球业界性价比最高的晶体生长电源。
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